熱門關(guān)鍵詞:展至科技 氧化鋁陶瓷基板/支架 氮化鋁陶瓷基板/支架 陶瓷覆銅板 陶瓷電路板
如今市場上常見的三維陶瓷基板為低溫及高溫共燒陶瓷基板[LTCC/HTCC],這些工藝都是采用了絲網(wǎng)印刷在陶瓷胚片上制備金屬線路層,然后將多層生胚片堆疊后燒結(jié)而成。雖然LTCC/HTCC基板集成度高,耐熱性好,但卻存在熱導(dǎo)率低、圖形精度差、成本高等不足。
相比之下HTCC/LTCC缺點(diǎn)在于下部陶瓷基板線路層與上部圍壩結(jié)構(gòu)均采用絲網(wǎng)印刷布線,其圖形精度較低,同時(shí)還受絲網(wǎng)印刷工藝限制,在制備的基板圍壩厚度[高度]有限。因此三維陶瓷基板僅適用于體積較小、精度要求較低的電子器件封裝。
為了提高三維陶瓷基板圍壩精度,首先加工金屬環(huán)和dpc陶瓷基板,然后通過粘接劑將兩者對準(zhǔn)貼合并在低熱條件下固化,來實(shí)現(xiàn)金屬環(huán)與dpc陶瓷基板粘接。粘接法具有工藝簡單、成本低廉和易于批量生產(chǎn)等優(yōu)勢,且制備工藝溫度低不會(huì)對dpc基板線路層造成損傷。由于有機(jī)粘膠耐熱性差,且為非氣密性材料,因此可靠性較低。
以上就是三維陶瓷基板難以滿足精度、成本及可靠性的應(yīng)用需求,并且需要開發(fā)新型的三維陶瓷基板制備技術(shù)。在電鍍陶瓷基板dpc是近年來研發(fā)的一種新型陶瓷電路板,具有導(dǎo)熱、耐熱性好、圖形精度高、可垂直互連等技術(shù)優(yōu)勢,可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體照明[白光LED]、殺菌消毒[深紫外LED]、[高溫電子器件封裝]等.
由于考慮到dpc陶瓷基板金屬線路層采用電鍍工藝制備,在金屬鍍層厚度與電流密度及電鍍時(shí)間成正比。通過增加電流密度,延長電鍍時(shí)間,可以制備出厚度較大的金屬圍壩層,從而制備出具有腔體結(jié)構(gòu)的三維陶瓷基板。
從以上內(nèi)容中可以看出,采用多層電鍍技術(shù)制備含金屬圍壩的三維dpc陶瓷基板[3D],研究了其技術(shù)可行性及工藝條件對基板性能的影響。