熱門關(guān)鍵詞:展至科技 氧化鋁陶瓷基板/支架 氮化鋁陶瓷基板/支架 陶瓷覆銅板 陶瓷電路板
由于目前LED中廣泛使用的是DPC陶瓷基板技術(shù),即利用直接鍍膜技術(shù),在AI2O3陶瓷頂層上沉積0.06毫米以下的本銅,以滿足LED產(chǎn)品電路的細致要求,強度低。隨著LED向大功率、小電流的發(fā)展。dpc陶瓷基板已不能滿足要求,而直接覆銅DBC陶瓷基板具有良好的機械性能,極好的電絕緣性能力開始逐漸應(yīng)用于LED產(chǎn)品。
對于DBC陶瓷基板,目前成熟的工藝是0.1毫米~0.4毫米厚的銅,但不能直接用于LED產(chǎn)品,需要采用特殊的加工方式才能將銅層厚度減薄至60μm以下,工序復(fù)雜、成本高、銅層厚度不均勻影響產(chǎn)品性能。而覆銅0.1毫米以下,是目前工藝燒結(jié)泡沫多,收益率低。
研究中主要目的在于提供一種直接制作銅厚為0.06毫米的DBC陶瓷基板,后續(xù)無需再進行加工,直接用于LED產(chǎn)品、制成方法及其制成產(chǎn)品良率高的薄銅DBC陶瓷基板。為了解決上述需要的技術(shù)問題,在薄銅制成DBC陶瓷基板的方法中包括了以下步驟:
第一步,用清洗液清洗陶瓷基板和銅片;
第二步,對銅片進行氧化;
第三步,將第一片銅片、第二片銅片依次燒結(jié)在陶瓷基板上;
在清洗液為酸堿溶液或去離子水,第一銅片和第二銅片的氧化溫度為500℃~900℃,氧化時間為10min~30min,氧化氣氛為下氧化氣氛氮氣保護,其中氧氣含量為50ppm~3000ppm。在第一銅片的燒結(jié)溫度為1060℃~1075℃,燒結(jié)時間為20min~35min,氣氛為氮氣保護的氧化氣氛,其中氧氣含量為5ppm~40ppm。在第二銅片的燒結(jié)溫度為1065℃~1080℃,燒結(jié)時間為20min~35min,氣氛為氮氣保護的氧化氣氛,其中氧含量為5ppm~40ppm。所以在第一銅片和第二銅片的厚度為0.06mm,所以陶瓷基板的厚度為0.25mm。
在厚度0.1毫米~0.4毫米銅DBC陶瓷基板不能用于大功率、LED元器件產(chǎn)品的路徑,而厚0.06毫米銅DBC陶瓷基板可以滿足這一需求。制成的0.06毫米銅的DBC陶瓷基板燒結(jié)氣泡本發(fā)明的薄銅DBC陶瓷基板的制成方法少,成品率高;銅片氧化溫度低于厚銅氧化溫度;銅片氧化時氧含量大于厚銅氧化時的氧含量高。