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新聞資訊

寬帶隙半導體封裝用于高壓來突出陶瓷基板

 時間:2022-09-19     瀏覽:1566     分享

寬帶隙半導體可實現(xiàn)高壓(10kv及以上)開關。因此,需要新的封裝解決方案來為此類設備奠定的基礎。金屬化陶瓷基板是一種眾所周知且成熟的技術,適用于高達3.3kv的電壓,但它在較高電壓下表現(xiàn)出一些弱點。由于其制造工藝,金屬化的輪廓很尖銳,并會導致電場增強在“三點區(qū)域”(陶瓷、導體和封裝材料相遇的地方),這可能導致局部放電(PD),最終導致模塊故障。以下主要介紹,一種新的基板結構,其中三相點被移到電場較低的區(qū)域。在這種結構中,陶瓷板被加工形成突起圓邊金屬化被釬焊在頂部。

 

描述了基于有限元的陶瓷基板設計,計算表明1mm厚的氮化鋁層足以承受10kv。介紹這種基板的制造過程,測試結果證明了這種新解決方案的優(yōu)越性,局部放電起始電壓提高了38%

 

由于其物理特性,寬帶隙半導體使功率器件的額定電壓超過10kv。在這些材料中碳化硅(SiC)是技術最先進的,一些高壓SiC器件已經得到證明(單極器件為10kv、雙極器件為15kv)。在研究中10kv額定SiC晶體管的封裝解決方案,特別是我們專注于集中電應力和熱應力的金屬化陶瓷基板

 

有兩種現(xiàn)象限制了隔離層可以承受的電壓,最明顯的是電壓擊穿,當電場超過材料的能力時會發(fā)生電壓擊穿,從而導致電弧并立即導致隔離失效。能量較低的現(xiàn)象是局部放電(PD),它不會導致立即分解,但長時間的PD積累可能會導致材料逐漸降解,絕緣材料中發(fā)生的局部放電會導致壽命縮短。研究表明局部放電主要發(fā)生在金屬化的邊緣。

 

避免電壓擊穿和局部放電的可能解決方案是通過,使絕緣層更厚來減少絕緣層所經歷的電場。在陶瓷基板的情況下,這種解決方案是不切實際的陶瓷基板用于疏散半導體器件散發(fā)的熱量。讓它變厚會導致在退化的熱性能,雖然SiC器件理論上可以在非常高的溫度下工作,但它強烈影響單極器件的性能。因此,超過100℃的結溫是不可取的,這樣的溫度可以使用非常有效的冷卻系統(tǒng)來實現(xiàn),這除其他外需要薄陶瓷層。

 

在正確選擇的材料是非常重要,電力電子基板中使用的各種陶瓷中,可以觀察到介電強度(20至40kv/mm)和熱導率(28175w/mk)的巨大差異。總體而言,發(fā)現(xiàn)氮化鋁(AIN)在這兩個方面都是最好的材料,也是在研究中選擇的材料。

 

增加局部放電起始電壓(PDIV)的另一種 方法是添加特定材料的涂層,其特性(例如中的介電常數(shù)中的電阻率)允許電場弛豫,尤其是在三相點處(陶瓷基板、半導體和封裝材料相遇的地方)。其實在研究了一種替代方法,其中我們改變了結構的幾何形狀,使最大電場不再出現(xiàn)在三相點。